[发明专利]化学水浴沉积系统及其使用方法

摘要

本申请涉及一种化学水浴沉积系统及其使用方法。所述化学水浴沉积系统包括沉积装置、抓取装置和缓冲装置。所述沉积装置用于盛放化学试剂。所述抓取装置用于抓取运输基板，并将所述基板放置于所述沉积装置中的化学试剂中。所述缓冲装置设置于所述沉积装置。所述缓冲装置用于缓冲在所述沉积装置放入基板时所述基板对沉积装置底部的冲击力。通过先在所述沉积装置中盛有的混合均匀的化学试剂，可以使所述化学试剂在所述基板表面的沉积过程更为均匀。