[发明专利]一种FBAR谐振频率和振荡薄膜各层厚度对应关系建立方法

摘要

本发明公开了一种FBAR谐振频率和振荡薄膜各层厚度对应关系建立方法，对于具有双声学反射镜面FBAR，给出应用的要求频率，既定各层材料的厚度，而已知各振荡薄膜层材料的厚度，工作频率也是确定的。本发明通过对FBAR的谐振频率和振荡薄膜各层材料的厚度对应关系建立，使两者可进行相互推导预测。在FBAR的设计中，对确定的频率，而对各振荡层薄膜厚度进行预测，以及，对确定的各振荡层薄膜厚度，而对谐振频率进行预测，提供一种简单的，快速有效的方法，能够加快研发和生产进度。

主权项

1.一种FBAR谐振频率和振荡薄膜各层厚度对应关系建立方法，其特征在于，已知FBAR振荡薄膜各层厚度，对应谐振频率关系的建立，包括以下步骤：根据FBAR理想压电层谐振条件，建立理想压电层与FBAR并联谐振频率的关联模型；根据机电耦合系数与FBAR谐振频率的对应关系，建立机电耦合系数与FBAR谐振频率的关联模型；针对FBAR滤波器中的每一个FBAR，获取每层结构的厚度，所述每层结构至少包括压电层、上电极层和下电极层；将获取的每层结构的厚度转化为理想压电层厚度，代入理想压电层与FBAR并联谐振频率的关联模型，获取FBAR并联谐振频率；获得压电层所用材料的机电耦合系数，将所获得到的压电层所用材料的机电耦合系数和FBAR并联谐振频率代入机电耦合系数与FBAR谐振频率的关联模型，获取FBAR串联谐振频率。