[发明专利]基片装载系统及其基片装载方法

摘要

本发明提供了一种基片装载系统及其装载方法，所述系统包括装载装置，及至少一基片存储卡匣，基片存储卡匣活动的容置于所述装载装置内；装载装置包括至少一箱体，及与箱体配套设置的提升机构，提升机构包括驱动组件和提升组件；基片存储卡匣包括存储箱，及基片放置组件，基片放置组件与所述提升机构相匹配，提升机构通过所述提升组件带动所述基片放置组件置入所述存储箱或从所述存储箱抽出。本发明的有益效果体现在：基片清洗与蒸镀生产线分离，将洁净的基片存储到干氮环境中，防止基片表面的污染；本方案在生产线上时只需两个独立的箱体，以及多个小型的基片存储腔体；通过两个独立基片装载箱体，交换工作，达到OLED设备流片要求。

主权项

1.基片装载系统，其特征在于：包括装载装置，及至少一基片存储卡匣，所述基片存储卡匣活动的容置于所述装载装置内；所述装载装置包括至少一箱体，及与箱体配套设置的提升机构，所述提升机构包括驱动组件和提升组件；所述基片存储卡匣包括存储箱，及基片放置组件，所述基片放置组件与所述提升机构相匹配，所述提升机构通过所述提升组件带动所述基片放置组件置入所述存储箱或从所述存储箱抽出。