[发明专利]一种氧化铜薄膜的制备方法有效

专利信息
申请号: 201811441242.9 申请日: 2018-11-29
公开(公告)号: CN111239203B 公开(公告)日: 2022-05-17
发明(设计)人: 杨航;关亚风 申请(专利权)人: 中国科学院大连化学物理研究所
主分类号: G01N27/12 分类号: G01N27/12;B82Y30/00
代理公司: 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 代理人: 马驰
地址: 116023 辽宁省*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 发明针对现有氧化铜薄膜制造成本高、工艺复杂、稳定性差的问题,提供一种氧化铜薄膜的制备方法。它基于电喷印原理,将铜氨络合物溶液与电解质溶液混合制成喷印墨水,在喷针和基底之间施加电场,驱动喷印墨水从喷针尖端喷出,产生电喷雾,在基底接收喷雾形成的液滴。加热的基底促进溶剂挥发和铜氨络合物分解形成氧化铜,形成致密的氧化铜薄膜。本制备方法简单,成膜厚度可控,成本相较于其它方法更加低廉,稳定性更好。
搜索关键词: 一种 氧化铜 薄膜 制备 方法
【主权项】:
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