[发明专利]一种PZT驱动微间隙标准具制作方法有效
| 申请号： | 201811444596.9 | 申请日： | 2018-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN111230310B | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 吴砺;贺坤;方向一 | 申请（专利权）人： | 福州高意光学有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B24B7/16 |
| 代理公司： | 福州君诚知识产权代理有限公司 35211 | 代理人： | 戴雨君 |
| 地址： | 350000 福建省福州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种PZT驱动微间隙标准具制作方法，包括以下步骤：1）刻槽：利用飞秒激光分别在第一光纤、第二光纤和第三光纤的一端面刻蚀出第一微平凹槽、第二微平凹槽和第三微球形凹槽；2）制光学表面：通过微熔或者抛光分别将第一微平凹槽、第二微平凹槽和第三微球形凹槽的表面制成光学级的光学表面；3）镀膜：对第一微平凹槽、第二光纤的另一端面、第二微平凹槽和第三微球形凹槽镀膜；4）抛光：对第一光纤、第二光纤和第三光纤的一端面进行抛光；5）熔接：将抛光后的第一光纤与第二光纤的一端面熔接成一体；6）制具：将第三光纤的一端面间隙设置在第二光纤的另一端面，第三光纤由PZT驱动器带动沿光路方向微移动以微调节间隙大小，第二微平凹槽的HR膜面与第三微球形凹槽的HR膜面构成平凹结构光纤标准具的谐振腔。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 pzt 驱动 间隙 标准 制作方法 | ||
【主权项】：
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