[发明专利]考虑机台交互作用的辨识良率损失原因的系统与方法

摘要

一种考虑机台交互作用的辨识良率损失原因的系统与方法。本发明实施例提供一种双阶段(Two‑Phase)处理过程，以寻找生产线的良率损失的根本原因。在第一阶段中，辨识出可能会引起良率损失的两制程机台间、两参数间、或制程机台与参数间的交互作用。在第二阶段中，获得第一阶段所发现的会引起良率损失的参数的门槛值，据以调整制程来提升良率。在每一个阶段中，可使用两个不同的演算法来产生一信赖指标(RII)，以评估其搜寻结果的可靠程度。

主权项

1.一种辨识良率损失原因的方法，其特征在于，包含：/n提供一生产线，该生产线包含复数个制程站(Stages)，每一该些制程站包含复数个制程机台，每一该些制程机台包含至少一制程装置，每一该至少一制程装置具有复数个制程参数，该些制程参数是配置以处理复数个工件其中一者，其中该些制程机台间具有复数个机台间参数，每一该些机台间参数代表该些制程机台的两者间的交互作用；/n根据复数个生产路径分别处理该些工件，每一该些生产路径指出在该些制程站上的该些制程机台的该些制程装置其中一预设装置，用以处理该些工件其中一者；/n对被对应的预设装置处理后的每一该些工件进行量测，以获得对应至该些工件的复数组线上量测值；/n对通过该生产线后的每一该些工件进行至少一良率测试，以获得分别对应至该些工件的复数组最终检查值；/n根据该些组最终检查值决定是否遭遇一良率测试失败；以及/n当遭遇到该良率测试失败时，进行一第一阶段，该第一阶段包含：/n基于一第一演算法来建立一第一搜寻模型，其中该第一演算法为一三阶段正交贪婪演算法(Triple Phase Orthogonal greedy algorithm；TPOGA)、一最小绝对压缩挑选机制(Least Absolute Shrinkage and Selection Operator；LASSO)演算法、或一回归树演算法；/n根据该些生产路径、该些制程参数和该些机台间参数，获得用以指出该些工件是否同时通过或使用该些制程装置、该些制程参数和该些机台间参数所组成的一第一组合中的任二元件的一组互动数据；以及/n通过输入该些工件的该些生产路径、该些制程参数、该些机台间参数、该组互动数据、该些组最终检查值和/或该些组线上量测值至该第一搜寻模型中，以辨识出可能会造成该良率测试失败的至少一第一关键装置、和/或至少一第一关键制程参数、和/或至少一第一关键机台间参数、和/或至少一第一关键交互作用。/n