[发明专利]一种适用于圆铁环的扩膜机构在审

专利信息
申请号: 201811448109.6 申请日: 2018-11-30
公开(公告)号: CN109585341A 公开(公告)日: 2019-04-05
发明(设计)人: 吴拓;黄亮;孙涛涛 申请(专利权)人: 芜湖益盈鼎裕自动化设备有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L33/00
代理公司: 北京华仲龙腾专利代理事务所(普通合伙) 11548 代理人: 李静
地址: 241000 安徽省芜湖市鸠江区衡*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开了一种适用于圆铁环的扩膜机构,包括桌板和圆铁环;所述桌板的下侧设置有第一升降板,桌板上转动安装有丝杆,丝杆上螺纹连接有螺纹套,第一升降板与螺纹套固定连接,第一升降板的四周固定安装有若干导向轴;所述桌板的上侧设置有扩膜载台和第二升降板,第二升降板的底部与导向轴的上侧固定连接,第二升降板的上侧通过支柱与扩膜载台固定连接;所述圆铁环套设在扩膜载台上,且圆铁环上覆设有膜,所述第二升降板上位于扩膜载台的外侧设置有柱形裁刀。本发明可以直接对覆膜圆铁环进行扩膜作业,减少将芯粒转移到270mm的正方形覆膜铁环上的流程,不仅大大提升作业效率,同时节省270mm正方形铁环以及对其覆膜的成本。
搜索关键词: 铁环 升降板 桌板 覆膜 载台 导向轴 螺纹套 丝杆 外侧设置 转动安装 作业效率 上螺纹 裁刀 芯粒 柱形
【主权项】:
1.一种适用于圆铁环的扩膜机构,其特征在于,包括桌板(5)和圆铁环(2);所述桌板(5)的下侧设置有第一升降板,桌板(5)上转动安装有丝杆(7),丝杆(7)上螺纹连接有螺纹套,第一升降板与螺纹套固定连接,第一升降板的四周固定安装有若干导向轴(6),导向轴(6)与桌板(5)滑动连接;所述桌板(5)的上侧设置有扩膜载台(1)和第二升降板,第二升降板位于扩膜载台(1)的下方,且第二升降板的底部与导向轴(6)的上侧固定连接,第二升降板的上侧通过支柱(4)与扩膜载台(1)固定连接;所述圆铁环(2)套设在扩膜载台(1)上,且圆铁环(2)上覆设有膜,所述第二升降板上位于扩膜载台(1)的外侧设置有柱形裁刀(3)。
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