[发明专利]一种晶圆显影承载机构及显影机在审
| 申请号： | 201811448401.8 | 申请日： | 2018-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN109254505A | 公开（公告）日： | 2019-01-22 |
| 发明（设计）人： | 张昊 | 申请（专利权）人： | 吉林麦吉柯半导体有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 王术兰 |
| 地址： | 132000 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供一种晶圆显影承载机构及显影机，属于显影技术领域。其包括活动组件；用于支撑活动组件的固定组件，活动组件可移动地安装在固定组件上；用于驱动活动组件在固定组件上进行移动的驱动组件，驱动组件与活动组件传动连接。该装置用于晶圆的自动机械化清洗，结构简单且使用便捷。 | ||
| 搜索关键词： | 活动组件 固定组件 承载机构 驱动组件 显影机 显影 种晶 可移动地安装 驱动活动组件 传动连接 显影技术 晶圆 机械化 清洗 移动 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆显影承载机构，其特征在于，所述晶圆显影承载机构包括：活动组件；用于支撑所述活动组件的固定组件，所述活动组件可移动地安装在所述固定组件上；用于驱动所述活动组件在所述固定组件上进行移动的驱动组件，所述驱动组件与所述活动组件传动连接。
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