[发明专利]包括多个外部触点的半导体芯片,芯片布置装置和用于检查半导体芯片的位置对准的方法在审
申请号: | 201811453220.4 | 申请日: | 2018-11-30 |
公开(公告)号: | CN109872978A | 公开(公告)日: | 2019-06-11 |
发明(设计)人: | D.博纳特 | 申请(专利权)人: | 英飞凌科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/482 | 分类号: | H01L23/482;H01L25/16;H01L29/41;H01L21/66;H01L27/146;H01L21/68 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 黄涛;申屠伟进 |
地址: | 德国瑙伊比*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 半导体芯片(100)包括由多个第一外部触点(120)组成的布置装置(110),所述多个第一外部触点(120)按照对应于规则图案的方式布置。该布置装置(110)包括第二外部触点(130),该第二外部触点(130)在横向范围方面与第一外部触点(120)不同,或者该第二外部触点(130)的位置相对于由规则图案定义的位置被移位。 | ||
搜索关键词: | 外部触点 半导体芯片 布置装置 规则图案 位置对准 位置相对 芯片布置 移位 检查 | ||
【主权项】:
1.半导体芯片(100),包括:布置装置(110),由多个第一外部触点(120)组成,所述多个第一外部触点(120)按照对应于规则图案的方式布置,其中,所述布置装置(110)包括第二外部触点(130),所述第二外部触点(130)在横向范围方面与所述第一外部触点(120)不同,或者第二外部触点(130)的位置相对于由所述规则图案定义的位置被移位。
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