[发明专利]基板加工装置在审
| 申请号： | 201811456075.5 | 申请日： | 2018-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN110027118A | 公开（公告）日： | 2019-07-19 |
| 发明（设计）人： | 中田胜喜;谷垣内平道 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D1/00 | 分类号： | B28D1/00;B28D5/00;B28D7/04;B28D7/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 张晶;谢顺星 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 技术问题：在基板加工装置中，提高基板分断的能力。解决方案：在基板加工装置(1)中，划线形成装置(3)对基板(100)形成相互正交的多个第一划线(S1)和多个第二划线(S2)。第一分断装置(7)通过沿着多个第一划线(S1)分断基板(100)，从而形成多个条状基板(111)。吸附旋转装置(8)使多个条状基板(111)在俯视下旋转90度。第二分断装置(9)配置于第一分断装置(7)的输送方向下游侧，且通过沿着多个第二划线(S2)分断多个条状基板(111)，从而形成多个单位基板(113)。输送装置(29)将多个条状基板(111)从第一分断装置(7)向第二分断装置(9)输送。 | ||
| 搜索关键词： | 分断装置 条状基板 划线 基板加工装置 分断 基板 划线形成装置 多个单位 基板分断 输送装置 旋转装置 对基板 正交的 吸附 俯视 配置 | ||
【主权项】：
1.一种基板加工装置，其具备：划线形成装置，对基板形成相互正交的多个第一划线和多个第二划线；第一分断装置，其通过沿着所述基板的所述多个第一划线进行分断，从而形成多个条状基板；旋转装置，其使所述多个条状基板在俯视下旋转90度；第二分断装置，其配置于所述第一分断装置的输送方向下游侧，且通过沿着所述多个第二划线分断所述多个条状基板，从而形成多个单位基板；以及输送装置，其将多个条状基板从所述第一分断装置向所述第二分断装置输送。
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