[发明专利]光学检测方法、系统及光学器件制造系统有效
| 申请号： | 201811468152.9 | 申请日： | 2018-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN109520712B | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 谈顺毅 | 申请（专利权）人： | 江苏慧光电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海段和段律师事务所 31334 | 代理人： | 李佳俊;郭国中 |
| 地址： | 215512 江苏省苏州市常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种光学检测方法、系统及光学器件制造系统，包括：图像生成系统：生成测试图像信息，将含有所述测试图像信息的光输出至待测器件；图像检测系统：根据经过所述待测器件的光得到检测图像信息；控制系统：根据所述检测图像信息的成像质量，得到像差参数。本发明可以模拟任意波前，根据补偿镜头中尚未装配的镜片，可以直接模拟出已装配的镜片能够达到最终成像效果，若发现存在问题，则可以直接给出反馈停止装配进行修正，避免将后续好的镜片装配到已存在问题的镜头上。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 检测 方法 系统 器件 制造 | ||
【主权项】：
1.一种光学检测系统，其特征在于，包括：图像生成系统：生成测试图像信息，将含有所述测试图像信息的光输出至待测器件；图像检测系统：根据经过所述待测器件的光得到检测图像信息；控制系统：计算和/或选取所述测试图像信息，输出至图像生成系统。
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