[发明专利]制备超低褶皱密度石墨烯材料的方法有效
| 申请号： | 201811473682.2 | 申请日： | 2018-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN109437169B | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 刘庆彬;蔚翠;何泽召;高学栋;郭建超;周闯杰;冯志红 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | C01B32/186 | 分类号： | C01B32/186 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 郝伟 |
| 地址： | 050051 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种制备超低褶皱密度石墨烯材料的方法，其是在绝缘衬底上通过化学气相沉积进行石墨烯材料的生长，以氢气作为载气，通入气态碳源和氮气，通过梯度法控制生长条件制备超低褶皱密度石墨烯材料。所述梯度法是将石墨烯生长过程分为低温阶段、升温阶段和高温阶段，分别控制三个阶段的温度、气体流量和压力等条件，使石墨烯在绝缘衬底上均匀分布，褶皱密度可降低至1×10 |
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| 搜索关键词： | 制备 褶皱 密度 石墨 材料 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制备超低褶皱密度石墨烯材料的方法，其特征在于：在绝缘衬底上通过化学气相沉积进行石墨烯材料的生长，以氢气作为载气，通入气态碳源和氮气，通过梯度法控制生长条件制备超低褶皱密度石墨烯材料；所述梯度法具体为：低温阶段：生长温度为1200‑1400℃，气态碳源流量为0.001‑0.02L/min，氢气流量为1‑20L/min，C/H比0.01％‑0.1％，氮气流量为0.5‑1L/min，气体压力为500‑1000mbar，持续时间1‑20min；升温阶段：在5‑15min内将温度匀速升高30‑200℃，气态碳源流量保持不变，降低氢气流量，C/H比匀速升至0.1％‑1％，氮气流量匀速降至0.05‑0.5L/min，气体压力匀速降至100‑500mbar；高温阶段：与低温阶段温差为30‑200℃，气态碳源流量保持不变，C/H比0.1％‑1％，氮气流量为0.05‑0.5L/min，气体压力为100‑500mbar，持续时间10‑60min；上述C/H比均为气态碳源和氢气的流量之比。
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