[发明专利]一种厚铜DCB板的制备方法在审
申请号: | 201811474623.7 | 申请日: | 2018-12-04 |
公开(公告)号: | CN111278220A | 公开(公告)日: | 2020-06-12 |
发明(设计)人: | 王英辉;陈诚;陆阳婷 | 申请(专利权)人: | 中科院微电子研究所昆山分所 |
主分类号: | H05K3/00 | 分类号: | H05K3/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 罗满 |
地址: | 215347 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种厚铜DCB板的制备方法,先在初始DCB板的至少一个铜层表面覆盖铜箔,该初始DCB板即现阶段铜层较薄的DCB板;再在铜箔表面覆盖加压基板,该加压基板与铜箔接触的表面的表面粗糙度不大于10nm;之后在预设温度下将铜箔与DCB板的铜层键合,以增加该铜层的厚度;最终将加压基板与铜箔,即增厚的铜层分离,以制成厚铜DCB板。上述方法在将铜层增厚的同时,由于加压基板中与铜箔直接接触的表面的表面粗糙度不大于10nm,使得在将加压基板分离之后,原铜箔表面,现增厚后的铜层的表面的表面粗糙度会不大于20nm,从而使得制备而成的厚铜DCB板表面具有非常低的表面粗糙度,便于对电子器件进行封装。 | ||
搜索关键词: | 一种 dcb 制备 方法 | ||
【主权项】:
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