[发明专利]蒸镀腔结构及遮挡板结构有效
| 申请号： | 201811479218.4 | 申请日： | 2018-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN109371369B | 公开（公告）日： | 2020-10-13 |
| 发明（设计）人： | 徐超 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种蒸镀腔结构以及遮挡板结构。所述蒸镀腔结构包含腔体、材料喷嘴以及遮挡板结构。所述材料喷嘴位于所述腔体内部下方，用来喷出欲镀原料至待镀基板。所述遮挡板包含支撑部、数个支撑条以及数个副遮挡板。数个副遮挡板位于所述支撑条之间，所述数个副挡板通过所述支撑条收合重叠或展开覆盖。利用本发明提供的蒸镀腔结构可以使遮挡板的重量分散在数个副遮挡板上，避免蒸镀机中的遮挡板重量过重而下垂，导致材料逸散。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀腔 结构 遮挡 板结 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀腔结构，用于待镀基板，其特征在于，所述蒸镀腔结构包含：腔体；材料喷嘴，位于所述腔体内部下方，用来喷出欲镀原料至位于所述腔体内部上方的所述待镀基板；以及遮挡板结构，包含：支撑部；数个支撑条，连接所述支撑部；以及数个副遮挡板，位于所述支撑条之间，所述数个副挡板通过所述支撑条收合重叠或展开覆盖。
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