[发明专利]流量分配装置、进气系统及反应腔室

摘要

本发明提供的流量分配装置、进气系统和反应腔室，用于将混合后的多种气体按预设流量比例分配至腔室本体的不同位置，包括分别连接至腔室本体的多条支路、设置在每条支路上的流量调节单元和控制单元，其中，控制单元用于根据各支路的预设流量比例控制流量调节单元调节各对应支路的流量，以使各支路之间的实际流量比例达到预设流量比例。在本发明中，在控制单元的控制下计算每条支路的流量，并由流量调节单元根据该流量调节各支路上的流量，避免现有技术中手动调节流量不准确的问题，并且能够确保每次工艺所采用的流量是相同的，提高不同批次的产品的一致性。