[发明专利]多晶硅生产中的尾气中各组分含量的检测方法及检测系统在审
| 申请号： | 201811494460.9 | 申请日： | 2018-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN111289689A | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 马新芳;邱艳梅;刘国霞 | 申请（专利权）人： | 新疆新特新能材料检测中心有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00;G01N31/16;G01N1/34 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 罗建民;张萍 |
| 地址： | 831500 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐*** | 国省代码： | 新疆;65 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅生产中的尾气中各组分含量的检测方法及检测系统，该方法包括以下步骤：除去未处理的待测多晶硅生产中的尾气中的氯硅烷，然后通入碱溶液吸收氯化氢来测定其中氯化氢的含量，再测定其中氢气的含量、氧气的含量；除去未处理的待测多晶硅生产中的尾气中的氯化氢，再测定其中氯硅烷的含量；根据未处理的待测多晶硅生产中的尾气中的氯化氢的含量、氢气的含量、氧气的含量、氯硅烷的含量，计算未处理的待测多晶硅生产中的尾气中的氮气含量。该方法可以准确测定多晶硅生产中废气处理工序的尾气中各组分含量，在每一种气体含量检测之前，均对干扰因子进行了去除，确保每一过程均为单项检测，确保了检测结果的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 生产 中的 尾气 各组 含量 检测 方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于新疆新特新能材料检测中心有限公司，未经新疆新特新能材料检测中心有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811494460.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种用于围栏的双层面板
- 下一篇：地刷及清洁设备
