[发明专利]一种抛光基座及抛光设备在审
| 申请号： | 201811505573.4 | 申请日： | 2018-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN109465738A | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 陈学森;李玉敏;赵玉国 | 申请（专利权）人： | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B37/34;B24B41/02 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 王献茹 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种抛光基座及抛光设备，包括设置有池壁的收集池，所述池壁的底部设置有第一排水导流面和第二排水导流面，其中，所述池壁、所述第一排水导流面和所述第二排水导流面一体式成型；所述第一排水导流面和所述第二排水导流面均为平整面且两者之间的夹角小于180°；所述第一排水导流面和所述第二排水导流面上均设置有排水孔和用于安装抛光单元的安装部；其中，在所述第一排水导流面上，所述安装部所在的位置高于所述排水孔；在所述第二排水导流面上，所述安装部在的位置高于所述排水孔。该抛光基座结构合理，排水性能好。 | ||
| 搜索关键词： | 排水 导流面 抛光 排水孔 池壁 导流 抛光设备 一体式成型 基座结构 排水性能 抛光单元 平整面 收集池 | ||
【主权项】：
1.一种抛光基座，其特征在于，包括设置有池壁的收集池，所述池壁的底部设置有第一排水导流面和第二排水导流面，其中，所述池壁、所述第一排水导流面和所述第二排水导流面一体式成型；所述第一排水导流面和所述第二排水导流面均为平整面且两者之间的夹角小于180°；所述第一排水导流面和所述第二排水导流面上均设置有排水孔和用于安装抛光单元的安装部；其中，在所述第一排水导流面上，所述安装部所在的位置高于所述排水孔；在所述第二排水导流面上，所述安装部所在的位置高于所述排水孔。
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