[发明专利]旋涂成型一体化装置在审
申请号: | 201811507174.1 | 申请日: | 2018-12-10 |
公开(公告)号: | CN109352888A | 公开(公告)日: | 2019-02-19 |
发明(设计)人: | 陈虹宇;邵鹏飞;黄奎明;马灿臻;刘光丽;董二宝 | 申请(专利权)人: | 中国科学技术大学 |
主分类号: | B29C41/04 | 分类号: | B29C41/04;B29C41/46;B29C35/10 |
代理公司: | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人: | 郑立明;赵镇勇 |
地址: | 230026 安*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种旋涂成型一体化装置,包括旋涂机,旋涂机的一侧设有基片移动台和基片移动机械手,另一侧设有点胶模块,点胶模块上设有光源模块。点胶模块包括点胶机,点胶机上设有移动导轨,移动导轨的下端设有点胶针筒,点胶针筒连接有进料管道。光源模块包括光固化灯,光固化灯位于旋涂机上方的正方体灯罩中。基片移动机械手的下端设有三爪卡盘。整体具有自动化和流水线式控制的特点,使放样、点胶、旋涂、光固化(特别对于光敏材料)、取样等加工流程能自动控制完成,实现旋涂样品的流水线式生产,提高加工效率和精度。 | ||
搜索关键词: | 旋涂 点胶模块 基片移动 光固化 一体化装置 机械手 点胶针筒 光源模块 流水线式 移动导轨 旋涂机 点胶 下端 成型 正方体灯罩 光敏材料 加工流程 加工效率 进料管道 三爪卡盘 点胶机 放样 取样 自动化 生产 | ||
【主权项】:
1.一种旋涂成型一体化装置,其特征在于,包括旋涂机,所述旋涂机的一侧设有基片移动台和基片移动机械手,另一侧设有点胶模块,所述点胶模块上设有光源模块。
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