[发明专利]显示面板、阵列基板、薄膜晶体管及其制造方法

摘要

本公开是关于一种薄膜晶体管的制方法、薄膜晶体管、阵列基板及显示面板。该制造方法包括：在衬底上形成遮光层和覆盖遮光层的缓冲层，以及依次堆叠设置缓冲层上的有源层、栅绝缘材料层和栅极材料层，有源层在衬底上的正投影覆盖部分遮光层在衬底上的正投影；形成由栅极材料层延伸至缓冲层内的凹槽，且凹槽与遮光层未被有源层覆盖的区域相对；对栅极材料层进行图案化，以形成栅极；对栅绝缘材料层进行图案化，以形成栅极绝缘层；去除凹槽底部的缓冲层，使遮光层露出；在缓冲层远离衬底的表面形成源极和漏极；形成覆盖栅极和缓冲层的介电层；在介电层与凹槽对应的位置形成露出遮光层的第一过孔，以及形成露出漏极的第二过孔。

主权项

1.一种薄膜晶体管的制造方法，其特征在于，包括：在衬底上形成遮光层和覆盖所述遮光层的缓冲层，以及依次堆叠设置所述缓冲层上的有源层、栅绝缘材料层和栅极材料层，所述有源层在所述衬底上的正投影覆盖部分所述遮光层在所述衬底上的正投影；形成由所述栅极材料层延伸至所述缓冲层内的凹槽，且所述凹槽与所述遮光层未被所述有源层覆盖的区域相对；对所述栅极材料层进行图案化，以形成栅极；对所述栅绝缘材料层进行图案化，以形成栅极绝缘层；去除所述凹槽底部的缓冲层，使所述遮光层露出；在所述缓冲层远离所述衬底的表面形成源极和漏极；形成覆盖所述栅极和所述缓冲层的介电层；在所述介电层与所述凹槽对应的位置形成露出所述遮光层的第一过孔，以及形成露出所述漏极的第二过孔；在所述介电层远离所述衬底的一侧形成覆盖所述介电层部分区域的导线层，所述导线层包括漏极线，所述漏极线通过所述第一过孔与所述遮光层连接，并通过所述第二过孔与所述漏极连接。