[发明专利]一种以HEDP作为主络合剂的碱铜镀液及其制备方法与电镀工艺在审
| 申请号： | 201811514330.7 | 申请日： | 2018-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN109355686A | 公开（公告）日： | 2019-02-19 |
| 发明（设计）人： | 罗如海;樊雄;陈志敏;王庆浩 | 申请（专利权）人： | 东莞市同欣表面处理科技有限公司 |
| 主分类号： | C25D3/38 | 分类号： | C25D3/38;C25D5/34 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市寮步镇*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种以HEDP作为主络合剂的碱铜镀液及其制备方法与电镀工艺，镀液中各组分含量如下：铜离子含量为5‑12g/L，HEDP含量为84‑140g/L，辅助络合剂含量为13‑30g/L，碳酸钾含量为16‑40g/L，铵盐类走位剂含量为0.4‑4g/L，阳极促溶剂含量为0.5‑2g/L。本发明的镀液具有良好的均镀能力和深镀能力，结合力良好，在冷热冲击和十字格刀法下，均表现优良；电流密度范围较宽，可达1‑4A/dm2；镀液稳定，各组分在电镀过程中保持平衡；各组分化学性能较稳定，在连续电镀过程中，抗氧化抗电解性能强，消耗低；电流效率高，最高可达90%，可基本保持60%以上；工艺控制简单，故障率低。 | ||
| 搜索关键词： | 镀液 电镀工艺 络合剂 碱铜 制备 辅助络合剂 阳极 电流效率 工艺控制 冷热冲击 连续电镀 组分化学 促溶剂 故障率 结合力 抗电解 抗氧化 十字格 碳酸钾 铜离子 走位剂 铵盐类 电镀 消耗 平衡 表现 | ||
【主权项】：
1.一种以HEDP作为主络合剂的碱铜镀液，其特征在于：镀液中各组分含量如下：铜离子含量为5‑12g/L，HEDP含量为84‑140g/L，辅助络合剂含量为13‑30g/L，碳酸钾含量为16‑40g/L，铵盐类走位剂含量为0.4‑4g/L，阳极促溶剂含量为0.5‑2g/L，阳极促溶剂为含氨基的化合物。
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