[发明专利]一种半球谐振陀螺镀膜空间运动装置

摘要

本专利公开了一种半球谐振陀螺镀膜空间运动装置，该装置包含：公转电机、自转电机、摆动电机，公转电机通过公转轴系与公转盘相连实现公转运动。自转电机通过自转轴系与卡具相连，通过弹力钢丝绳实现全角度自转。摆动电机通过摆动轴系将旋转转换成上下移动，通过拨叉带动齿条驱动齿轮实现工件摆动。本发明可实现半球谐振陀螺镀膜过程中空间运动，全表面一次性成膜，集公转、自转和摆动三种运动于一体，且公转速度、自转速度与自转方向独立可调，向上摆动速度、向下摆动速度、摆动仰角和上、下停顿时间均可按需要随意设定，提高镀膜均匀性，解决了半球谐振陀螺镀膜合格率低的问题，提高生产效率。

主权项

1.一种半球谐振陀螺镀膜空间运动装置，其特征在于该装置包含公转系统、自转系统、摆动系统和真空室；所述公转系统包括，公转电机，所述公转电机通过公转轴系与公转盘相连实现公转运动；所述自传系统包括，自传电机，所述自转电机通过自转轴系与卡具相连，通过弹力钢丝绳实现全角度自转运动；所述摆动系统包括，摆动电机，所述摆动电机通过摆动轴系将旋转转换成上下移动实现工件摆动；所述真空室内设置有工件固定装置，所述真空室内的工件固定装置通过传动杆与所述公转系统、所述自传系统和所述摆动系统连接。