[发明专利]一种装饰类金刚石薄膜的调色方法有效

专利信息
申请号: 201811524484.4 申请日: 2018-12-13
公开(公告)号: CN109594058B 公开(公告)日: 2022-02-11
发明(设计)人: 唐智 申请(专利权)人: 纳峰真空镀膜(上海)有限公司
主分类号: C23C16/02 分类号: C23C16/02;C23C16/26
代理公司: 上海兆丰知识产权代理事务所(有限合伙) 31241 代理人: 卢艳民
地址: 201700 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明涉及镀膜技术领域,具体地说是一种装饰类金刚石薄膜的调色方法。一种装饰类金刚石薄膜的调色方法,包括基材、TAC薄膜层、着色层,其特征在于:具体步骤如下:S1:对基材表面进行超声波清洗;S2:将基材放入镀膜腔体中,将腔体抽真空至1.5x10‑5 Torr;S3:对基材表面进行离子刻蚀,在基材的表面镀一层TAC薄膜层;S4:将腔体抽真空至1.0x10‑5 Torr,并充入C2H2气体,对TAC薄膜层的表面进行着色层镀膜。同现有技术相比,在利用FAVA镀膜时引入C2H2气体,可以改变膜层颜色,使膜层外观具备更多的选择性,这对于装饰镀而言,会显著提升应用范围;引入C2H2,可以提升膜层的沉积速率,尤其是对于FCVA‑C膜,镀膜效率会显著提升。
搜索关键词: 一种 装饰 金刚石 薄膜 调色 方法
【主权项】:
1.一种装饰类金刚石薄膜的调色方法,包括基材、TAC薄膜层、着色层,其特征在于:具体步骤如下:S1:对基材表面进行超声波清洗;S2:将基材放入镀膜腔体中,将腔体抽真空至1.5x10‑5 Torr;S3:对基材表面进行离子刻蚀,在基材的表面镀一层TAC薄膜层;S4:将腔体抽真空至1.0x10‑5 Torr,并充入C2H2气体,对TAC薄膜层的表面进行着色层镀膜。
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