[发明专利]一种用于制备透明显示屏格栅的设备及其生产工艺

摘要

本发明涉及一种用于制备透明显示屏格栅的设备及其生产工艺，该设备包括前处理机构、若干镀膜机构、传送机构和其他功能机构，所述前处理机构包括表面前处理腔；所述镀膜机构包括Si膜制备腔、Au膜制备腔和Si基格栅制备腔，所述Si膜制备腔设置有真空系统、供气系统、热蒸发系统、磁控溅射系统和掩膜定位系统；所述Au膜制备腔设置有真空系统、供气系统、热蒸发系统、磁控溅射系统和掩膜定位系统；所述Si基格栅制备腔设置有真空系统、供气系统、热蒸发系统、磁控溅射系统、掩膜定位系统和加热系统。本发明通过设置多个相互独立的腔体，在衬底表面沉积薄膜，各操作可平行操作，降低单片衬底薄膜的生产时间，提高设备的利用率及透明显示屏格栅的生产效率。

主权项

1.一种用于制备透明显示屏格栅的设备，其特征在于：包括前处理机构、若干镀膜机构、传送机构(8)和其他功能机构，所述前处理机构包括表面前处理腔(1)，所述前处理腔(1)的内部设置有真空系统、供气系统、热蒸发系统、磁控溅射系统、掩膜定位系统；所述镀膜机构包括Si膜制备腔(2)、Au膜制备腔(3)和Si基格栅制备腔(4)，所述Si膜制备腔(2)内设置有真空系统、供气系统、热蒸发系统、磁控溅射系统和掩膜定位系统；所述Au膜制备腔(3)内设置有真空系统、供气系统、热蒸发系统、磁控溅射系统和掩膜定位系统；所述Si基格栅制备腔(4)内设置有真空系统、供气系统、热蒸发系统、磁控溅射系统、掩膜定位系统和加热系统。