[发明专利]黄光对准系统、光刻机及其对准方法在审
| 申请号： | 201811525884.7 | 申请日： | 2018-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN109358476A | 公开（公告）日： | 2019-02-19 |
| 发明（设计）人： | 蔡瑞;张雷;李伟成 | 申请（专利权）人： | 苏州源卓光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人： | 陈松 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种黄光对准系统，在黄光对准系统的使用下，对位点在对位相机抓取的图像中显示清晰，能够准确得到的对位点的位置，对准系统设置在可移动的基板台面上方，基板台面用于承载PCB板，对准系统包括安装在龙门上的固定对准组件和移动对准组件，固定对准组件包括固定在龙门上的固定对准相机，固定对准相机的镜头朝下设置，固定对准组件还包括固定在龙门上的照明光源，照明光源为黄光光源，移动对准组件包括沿龙门设置的滑轨，滑轨上设置有能够沿滑轨移动的移动对准相机，移动对准相机的镜头朝下设置，固定对准相机与移动对准相机配合抓取PCB板上的对位点，同时本发明还提供了使用该黄光对准系统的光刻机以及对准方法。 | ||
| 搜索关键词： | 对准 对准系统 相机 黄光 龙门 对准组件 对位点 抓取 移动对准组件 基板台面 照明光源 光刻机 滑轨 移动 滑轨移动 黄光光源 可移动 对位 承载 图像 清晰 配合 | ||
【主权项】：
1.一种黄光对准系统，所述对准系统设置在可移动的基板台面上方，所述基板台面用于承载PCB板，其特征在于：所述对准系统包括安装在龙门上的固定对准组件和移动对准组件，所述固定对准组件包括固定在所述龙门上的固定对准相机，所述固定对准相机的镜头朝下设置，所述固定对准组件还包括固定在所述龙门上的照明光源，所述照明光源为黄光光源，所述移动对准组件包括沿所述龙门设置的滑轨，所述滑轨上设置有能够沿所述滑轨移动的移动对准相机，所述移动对准相机的镜头朝下设置，所述固定对准相机与所述移动对准相机配合抓取PCB板上的对位点。
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