[发明专利]等离子体淀积炉的反应室结构

摘要

本发明公开了提供一种等离子体淀积炉的反应室结构，包括：内层石英管，其内部为用于盛装反应气体的反应腔；外层石英管，其套在内层石英管外并与所述内层石英管同轴，外层石英管与所述内层石英管之间具有间距；用于将反应气体电离产生碳原子的电感线圈，其缠绕在内层石英管上，且电感线圈沿内层石英管的轴向延伸，电感线圈与射频电源连接。本发明电感线圈通入射频电源后，电感线圈将反应腔内的反应气体电离产生碳原子，这样碳原子会一层一层的落在铜箔或铝箔上，而碳原子与碳原子之间会通过化学键联接在一起，从而在铜箔或铝箔上生长出石墨烯，这样石墨烯具有特定的结构，更有利于锂离子电池的储能，从而使该锂离子电池具有更高的能量密度。

主权项

1.一种等离子体淀积炉的反应室结构，其特征在于，包括：内层石英管（1），其内部为用于盛装反应气体的反应腔（1）；外层石英管（3），其套在所述内层石英管（1）外并与所述内层石英管（1）同轴，所述外层石英管（2）与所述内层石英管（1）之间具有间距；用于将所述反应气体电离产生碳原子的电感线圈（3），其缠绕在所述内层石英管（1）上，且所述电感线圈（3）沿所述内层石英管（1）的轴向延伸，所述电感线圈（3）与射频电源连接。