[发明专利]钛靶材铜铬合金背板的制作方法在审
申请号: | 201811532344.1 | 申请日: | 2018-12-14 |
公开(公告)号: | CN111318657A | 公开(公告)日: | 2020-06-23 |
发明(设计)人: | 姚力军;周友平;边逸军;庞学功;陈勇军 | 申请(专利权)人: | 宁波江丰电子材料股份有限公司;丹东华强有色金属加工有限公司 |
主分类号: | B22D7/00 | 分类号: | B22D7/00;C22C1/02;C22C1/06;C22C9/00;C22F1/08;C23C14/35 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 吴敏 |
地址: | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 一种钛靶材铜铬合金背板的制作方法,包括:提供合金熔液及氮气;将所述氮气充入所述合金熔液内。将氮气充入所提供的合金熔液内部,由于氮气不溶于液体且密度较小,当氮气充入所述合金熔液内部会将所述合金熔液内部的氧气以及其他杂质挤压出所述合金熔液之外,使得所述合金熔液内部的杂质与氧气降低。当所述合金熔液内部的杂质与氧气降低后所得到的合金锭内部缺陷减小,电导率提高,满足应用要求。 | ||
搜索关键词: | 钛靶材铜铬 合金 背板 制作方法 | ||
【主权项】:
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