[发明专利]一种不锈钢表面碳纳米带防腐层的制备方法

摘要

一种不锈钢表面碳纳米带防腐层的制备方法，它涉及不锈钢表面防腐层的制备方法。本发明要解决现有不锈钢材料在燃料电池的酸性环境中耐腐蚀性能差，在高温燃料电池中不锈钢的使用寿命短的问题。制备方法：一、将不锈钢置于等离子体增强化学气相沉积真空装置中，抽真空，通入氩气，在一定压强、温度及射频功率的条件下，对不锈钢表面进行刻蚀处理；二、刻蚀结束后，关闭射频电源，通入氩气及甲烷气体，在一定压强、温度及射频功率的条件下进行沉积；三、沉积结束后，关闭射频电源和加热电源，停止通入甲烷气体和氩气，真空冷却至室温，即完成不锈钢表面碳纳米带防腐层的制备方法。本发明用于不锈钢表面碳纳米带防腐层的制备。

主权项

1.一种不锈钢表面碳纳米带防腐层的制备方法，其特征在于一种不锈钢表面碳纳米带防腐层的制备方法是按以下步骤进行的：一、将不锈钢置于等离子体增强化学气相沉积真空装置中，抽真空至压强为5Pa～10Pa，通入氩气，调节氩气的气体流量为50sccm～90sccm，调节等离子体增强化学气相沉积真空装置中压强为200Pa～400Pa，在10min～30min将温度升温至600℃～800℃，然后调节射频功率为100W～200W，在压强为200Pa～400Pa、温度为600℃～800℃及射频功率为100W～200W的条件下，对不锈钢表面进行刻蚀处理，处理时间为5min～15min；二、刻蚀结束后，关闭射频电源，通入氩气及甲烷气体，调节氩气气体流量为50sccm～90sccm，调节甲烷气体流量为10sccm～30sccm，将等离子体增强化学气相沉积真空装置中压强调节为100Pa～500Pa，在压强为100Pa～500Pa、温度为600℃～800℃及射频功率为50W～200W的条件下进行沉积，沉积时间为20min～60min；三、沉积结束后，关闭射频电源和加热电源，停止通入甲烷气体和氩气，真空冷却至室温，即完成不锈钢表面碳纳米带防腐层的制备方法。