[发明专利]一种气液分离装置在审
申请号: | 201811534209.0 | 申请日: | 2018-12-14 |
公开(公告)号: | CN109432828A | 公开(公告)日: | 2019-03-08 |
发明(设计)人: | 常军 | 申请(专利权)人: | 上海正帆半导体设备有限公司;上海正帆科技股份有限公司 |
主分类号: | B01D19/00 | 分类号: | B01D19/00 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 201613 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及化工技术领域,公开一种气液分离装置,包括:真空管,其上设有抽气口;分离管,位于真空管内,分离管内用于流通含有氢气和/或氦气的液体;抽气单元,通过抽气口抽出真空管内的气体,使分离管内液体中含有的气体穿过分离管管壁进入真空管内。本发明通过抽气单元将真空管内的气体抽出,使真空管内的压强小于等于设定值,由于分离管内液体中含有的氢气或者氦气的相对分子质量比较小,且分离管内外存在压差,气体能够穿过分离管壁进入真空管内,并通过真空单元将其抽出,通过该气液分离装置提高了液体的纯净度。 | ||
搜索关键词: | 真空管 分离管 液分离装置 抽气单元 抽出 氢气 抽气口 氦气 纯净度 化工技术领域 气液分离装置 穿过 压强 真空单元 压差 流通 | ||
【主权项】:
1.一种气液分离装置,其特征在于,包括:真空管(12),其上设有抽气口(211);分离管(13),位于所述真空管(12)内且由可溶性聚四氟乙烯制成,所述分离管(13)内用于流通含有氢气和/或氦气的液体;抽气单元,通过所述抽气口(211)抽出所述真空管(12)内的气体,使所述分离管(13)内液体中含有的气体穿过所述分离管(13)管壁进入所述真空管(12)内。
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