[发明专利]发光单元的制备方法及发光单元有效
申请号: | 201811535309.5 | 申请日: | 2018-12-14 |
公开(公告)号: | CN111326637B | 公开(公告)日: | 2021-05-25 |
发明(设计)人: | 张豪峰 | 申请(专利权)人: | 云谷(固安)科技有限公司 |
主分类号: | H01L33/44 | 分类号: | H01L33/44;H01L33/00 |
代理公司: | 北京布瑞知识产权代理有限公司 11505 | 代理人: | 孟潭 |
地址: | 065000 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本发明提供了一种发光单元的制备方法,通过在衬底上形成与每个发光器件沟槽对应的不透明图案,使得激光在激光剥离过程中产生衍射,从而在每个发光器件上形成半剥离区域,以抵消和疏导激光剥离中产生的冲击力和气体,有效的解决了激光剥离过程中产生的冲击导致外延层不同程度损坏的问题。其中发光单元的制备方法包括:在衬底上设置至少一个发光器件;在至少一个发光器件中的每个发光器件周围设置沟槽;在衬底的远离发光器件的一侧形成与沟槽对应的预设厚度的不透明图案,其中不透明图案的宽度大于沟槽的宽度;利用激光从衬底的远离发光器件的一侧进行照射,以在发光器件的边缘产生衍射而形成半剥离区域,从而使得衬底与发光器件剥离。 | ||
搜索关键词: | 发光 单元 制备 方法 | ||
【主权项】:
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