[发明专利]显示面板及其制作方法

摘要

本申请提出了一种显示面板及其制作方法，所述制作方法包括：提供一基板，在所述基板上依次形成非晶硅层、第一金属层、第二金属层及第一光阻层；利用第一光罩工艺，所述第一金属层形成第一金属图案层，及所述第二金属层形成第二金属图案层；利用第一蚀刻工艺，使所述第一金属图案层形成保护层、及对所述非晶硅层图案化处理使所述非晶硅层形成有源层；利用第二蚀刻工艺，去除所述第二金属图案层及所述保护层边缘区域中超出所述有源层的部分，使所述第二金属图案层形成源漏极。本申请通过在有源层与源漏极之间形成以保护层，避免在进行源漏极图案化处理时，位于源漏极下方的有源层被蚀刻，提高了产品的良率和品质。

主权项

1.一种显示面板的制作方法，其特征在于，包括步骤：S10、提供一基板，在所述基板上形成一非晶硅层；S20、在所述非晶硅层上依次形成第一金属层、第二金属层及第一光阻层；S30、利用第一光罩工艺，使所述第一金属层形成第一金属图案层，及所述第二金属层形成第二金属图案层；S40、利用第一蚀刻工艺，使所述第一金属图案层形成保护层、及对所述非晶硅层图案化处理使所述非晶硅层形成有源层，所述有源层在所述第二金属图案层上的正投影位于所述第二金属图案层内；S50、利用第二蚀刻工艺，去除所述第二金属图案层及所述保护层边缘区域中超出所述有源层的部分，使所述第二金属图案层形成源漏极；S60、剥离所述第一光阻层。