[发明专利]一种曝光参数的确定方法、确定装置及终端设备有效
| 申请号： | 201811556355.3 | 申请日： | 2018-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN109507850B | 公开（公告）日： | 2020-12-11 |
| 发明（设计）人： | 倪伟 | 申请（专利权）人： | 惠科股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02F1/13 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人： | 高星 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区石岩街道水田村民*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种曝光参数的确定方法、确定装置及终端设备，包括：获取曝光设备的至少一组参考曝光参数；分别根据每组参考曝光参数对第一样品进行曝光，得到与每组参考曝光参数对应的曝光图形；分别对所述每组参考曝光参数对应的曝光图形进行量测获得量测结果，并根据该量测结果确定所述曝光设备的标准曝光参数。通过本申请中的技术方案，能够有效减少因光能量的不平衡而造成曝光产品的色差。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曝光 参数 确定 方法 装置 终端设备 | ||
【主权项】：
1.一种曝光参数的确定方法，其特征在于，包括：获取曝光设备的至少一组参考曝光参数；分别根据每组参考曝光参数对第一样品进行曝光，得到与每组参考曝光参数对应的曝光图形；分别对所述每组参考曝光参数对应的曝光图形进行量测获得量测结果，并根据该量测结果确定所述曝光设备的标准曝光参数。
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