[发明专利]一种非金属黑硅制绒液以及利用该制绒液进行制绒的方法

摘要

本发明涉及一种非金属黑硅制绒液以及利用该制绒液进行制绒的方法。所述非金属黑硅制绒液，包含氢氟酸和硝酸，还包含添加剂；所述添加剂包含如下组分：渗透剂，所述渗透剂选自十二烷基苯磺酸钠、壬基酚聚氧乙烯醚、十二烷基硫酸钠中的一种或多种；缓蚀剂，所述缓蚀剂选自膦羧酸、琉基苯并噻唑、苯并三唑、磺化木质素中的一种或多种；消泡剂；和溶剂。所述制绒方法包括：提供制绒液；将硅片浸入所述制绒液中；开启光源照射硅片表面；清洗硅片；进行扩孔处理；将硅片依次进行清洗、碱洗、水洗、酸洗、水洗和烘干。该制绒液可以有效降低金刚线多晶硅片的反射率，该方法成本低、工艺稳定。

主权项

1.一种非金属黑硅制绒液，包含氢氟酸和硝酸，其特征在于，还包含添加剂；所述添加剂包含如下组分：渗透剂，所述渗透剂选自十二烷基苯磺酸钠、壬基酚聚氧乙烯醚、十二烷基硫酸钠中的一种或多种；缓蚀剂，所述缓蚀剂选自膦羧酸、琉基苯并噻唑、苯并三唑、磺化木质素中的一种或多种；消泡剂；和溶剂。