[发明专利]一种蚀刻系统放电异常检测方法和装置有效
| 申请号： | 201811565127.2 | 申请日： | 2018-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN109814006B | 公开（公告）日： | 2020-08-21 |
| 发明（设计）人： | 张璐 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/12 | 分类号： | G01R31/12;H01J37/244 |
| 代理公司： | 北京荟英捷创知识产权代理事务所(普通合伙) 11726 | 代理人： | 段志慧 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种蚀刻系统放电异常检测方法和装置，该方法包括：获取与等离子体腔室连接的匹配器中可变器件的当前阻抗值；若所述当前阻抗值与预设阈值相匹配，且匹配的持续时间不小于预设时长，则确认放电异常。通过上述方案，有效解决蚀刻系统中的等离子体腔室发生放电异常后，无法及时、准确检测的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 系统 放电 异常 检测 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种蚀刻系统放电异常检测方法，其特征在于，所述方法包括：获取与等离子体腔室连接的匹配器中可变器件的当前阻抗值；若所述当前阻抗值与预设阈值相匹配，且匹配的持续时间不小于预设时长，则确认放电异常。
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