[发明专利]物体检查系统以及物体检查方法有效
| 申请号： | 201811574755.7 | 申请日： | 2018-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN109945780B | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 吉田顺一郎;藁科文和 | 申请（专利权）人： | 发那科株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 范胜杰;文志 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种物体检查系统以及物体检查方法，当在掩膜图像与检查图像之间产生了偏差的情况下，能够迅速且容易地将掩膜图像与检查图像对准。物体检查系统具备：拍摄部；使第1物体或第2物体与拍摄部相对移动的移动机械；取得移动机械将第1物体或第2物体与拍摄部配置在相对位置时的移动机械的位置数据的位置数据取得部；取得第1物体的第1图像和第2物体的第2图像的图像数据取得部；以及进行第1图像与第2图像的对准的图像对准部，能够检查有无第2物体相对于第1物体的视觉识别的误差。 | ||
| 搜索关键词： | 物体 检查 系统 以及 方法 | ||
【主权项】：
1.一种物体检查系统，其特征在于，具备：拍摄部，其对具有共同的外形的第1物体以及第2物体进行拍摄；移动机械，其使所述第1物体或所述第2物体与所述拍摄部相对地移动；位置数据取得部，其取得所述移动机械将所述第1物体与所述拍摄部配置在第1相对位置时的所述移动机械的第1位置数据，并且取得所述移动机械将所述第2物体与所述拍摄部配置在第2相对位置时的所述移动机械的第2位置数据；图像数据取得部，其取得在所述第1相对位置由所述拍摄部拍摄到的所述第1物体的第1图像，并且取得在所述第2相对位置由所述拍摄部拍摄到的所述第2物体的第2图像；以及图像对准部，其使用所述移动机械的移动机械坐标系与所述拍摄部的拍摄坐标系之间的已知的位置关系、所述第1位置数据以及所述第2位置数据，进行所述拍摄坐标系中的所述第1图像与所述第2图像的对准，能够基于进行了对准的所述第1图像与所述第2图像来检查有无所述第2物体相对于所述第1物体的视觉识别的误差。
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