[发明专利]线宽标准样片及线宽标准样片中标准线条的循迹方法有效
| 申请号： | 201811582064.1 | 申请日： | 2018-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN109444473B | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 韩志国;李锁印;冯亚南;梁法国;赵琳;许晓青;吴爱华 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | G01Q30/20 | 分类号： | G01Q30/20 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 高欣 |
| 地址： | 050051 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明适用于显微镜校准技术领域，提供了一种线宽标准样片及线宽标准样片中标准线条的循迹方法，所述方法包括：在所述线宽标准样片中查找循迹箭头；根据所述循迹箭头指示的预设方向，查找定位标记，所述预设方向为所述循迹箭头指示的标准线条所在区域的方向；根据所述定位标记，延着所述预设方向移动直至观察到指示标尺；根据所述指示标尺和预设标尺‑线条对应关系，查找待寻标准线条。本发明通过循迹箭头、定位标记和指示标尺一步步对标准线条进行定位指示，能够在线宽标准样片中快速的找到纳米级别的标准线条，实现扫描电子显微镜的快速校准。 | ||
| 搜索关键词： | 标准 样片 线条 方法 | ||
【主权项】：
1.一种线宽标准样片，其特征在于，包括：样片底片、指示标记及多组不同标称值的标准线条；所述指示标记及所述多组不同标称值的标准线条绘制于所述样片底片上；所述指示标记用于指示所述标准线条在所述样片底片中的位置。
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