[发明专利]一种电磁式检测装置、检测方法及镀膜系统在审
| 申请号： | 201811591621.6 | 申请日： | 2018-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN109612377A | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 徐义;荆鸣翔 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/00 | 分类号： | G01B7/00;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 朱静谦 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及设备检测技术领域，具体涉及一种电磁式检测装置、检测方法及镀膜系统。其中，电磁式检测装置包括，用于承载被传送物体并具有导磁性的载具；在传输方向运送所述载具的传输装置；设置在所述传输装置的传输路径上的电磁线圈，并可供载具和所述被传送物体穿过；用于检测所述载具穿过电磁线圈时产生磁场强度的传感器；与磁场强度传感器连接的处理器，其用于根据所述磁场强度传感器检测到的磁场强度的大小确定所述载具的位置信息。采用磁场强度信号的方式来监测被检测部件的位置信号，相比较传统手段非常难被损坏，磁场强度式监测不易受镀膜腔室大量粉尘的影响，信号稳定，维护简单。 | ||
| 搜索关键词： | 电磁式检测装置 磁场 磁场强度传感器 检测 传输装置 电磁线圈 镀膜系统 载具 传送 磁场强度信号 检测技术领域 被检测部件 传输方向 传输路径 传统手段 大小确定 镀膜腔室 涉及设备 位置信号 物体穿过 信号稳定 导磁性 监测 传感器 处理器 粉尘 承载 穿过 运送 维护 | ||
【主权项】：
1.一种电磁式检测装置，其特征在于，包括：载具(3)，用于承载被传送物体；所述载具具有导磁性；传输装置(2)，其在传输方向运送所述载具(3)；电磁线圈(51)，其设置在所述传输装置(2)的传输路径上，并可供所述载具(3)和所述被传送物体穿过；磁场强度传感器(61)，用于检测所述载具(3)穿过电磁线圈(51)时产生的磁场强度；处理器(62)，与所述磁场强度传感器(61)连接，用于根据所述磁场强度传感器(61)检测到的磁场强度的大小确定所述载具(3)的位置信息。
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