[发明专利]一种扇出型芯片封装结构及其制造方法在审

专利信息
申请号: 201811597639.7 申请日: 2018-12-26
公开(公告)号: CN109671700A 公开(公告)日: 2019-04-23
发明(设计)人: 孙绪燕;陈峰;姚大平;林挺宇 申请(专利权)人: 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
主分类号: H01L25/18 分类号: H01L25/18;H01L23/31;H01L21/56;H01L21/60;H01L23/488;H01L23/482
代理公司: 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313 代理人: 张东梅
地址: 214028 江苏省无锡市新区*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种扇出型芯片封装结构,包括:第一芯片;玻璃载板,所述玻璃载板设置在所述第一芯片下方;塑封层,所述塑封层设置在所述玻璃载板上方,包覆所述第一芯片;导电玻璃通孔,所述导电玻璃通孔贯穿所述玻璃载板,且与所述第一芯片电连接;重新布局布线层,所述重新布局布线层设置在所述玻璃载板的下方,与所述导电玻璃通孔电连接,从而实现对所述第一芯片的扇出功能。钝化层,所述钝化层位于所述重新布局布线层的金属表面和间隙;以及外接焊球。
搜索关键词: 玻璃载板 导电玻璃 布线层 芯片 通孔 芯片封装结构 钝化层 扇出型 塑封层 芯片电连接 金属表面 电连接 包覆 焊球 扇出 外接 贯穿 制造
【主权项】:
1.一种扇出型芯片封装结构,包括:第一芯片;玻璃载板,所述玻璃载板设置在所述第一芯片下方;塑封层,所述塑封层设置在所述玻璃载板上方,包覆所述第一芯片;导电玻璃通孔,所述导电玻璃通孔贯穿所述玻璃载板,且与所述第一芯片电连接;重新布局布线层,所述重新布局布线层设置在所述玻璃载板的下方,与所述导电玻璃通孔电连接,从而实现对所述第一芯片的扇出功能。钝化层,所述钝化层位于所述重新布局布线层的金属表面和间隙;以及外接焊球。
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