[发明专利]一种超微小孔的气体流量的调试方法在审
| 申请号： | 201811598768.8 | 申请日： | 2018-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN109737896A | 公开（公告）日： | 2019-05-10 |
| 发明（设计）人： | 许国庆;张琳琳 | 申请（专利权）人： | 沈阳富创精密设备有限公司 |
| 主分类号： | G01B13/10 | 分类号： | G01B13/10;G01B13/22;G01F1/00 |
| 代理公司： | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人： | 俞鲁江 |
| 地址： | 110000 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明是针对匀气盘上超微小孔的气体流量检测仪调试说明，通过连接调试气体流量检测仪上的MKS控制模块的气体流速，不同Pin孔的电压值，输出模式等设置，来记录匀气盘上的超微小孔的气流流速。由于匀气盘上小孔直径较小不易量测，小孔长度和表面粗糙度量测成本过高(只能剖开量测，则此片匀气盘报废)，将小孔直径，长度，面粗糙度转换为小孔气体流速检测是一个节约成本高效的量测方法。 | ||
| 搜索关键词： | 匀气盘 小孔 微小孔 量测 气体流量检测 调试 气体流速 成本高效 控制模块 气流流速 气体流量 输出模式 粗糙度 剖开 度量 报废 转换 检测 节约 记录 | ||
【主权项】：
1.一种超微小孔的气体流量的调试方法，其特征在于，检测匀气盘上小孔气体流量的均匀性；主要调试步骤如下：(1)将气体流量检测治具与MKS控制器，探针，氮气瓶连接好；(2)通过调节9个Pin孔来校准气体流量检测治具MKS控制器模块的直流电压值，Pin2和Pin6直流电压差满足接近0V；(3)将氮气瓶接入到气体流量检测仪并调节至30psi的压强；(4)调节MKS控制器设置不同模式；(5)使用小孔流量校准刻度块，调整针型阀完成300sccm设定收集记录在300sccm条件下不同小孔的气体流量值。
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