[发明专利]POLY-270剥离清洗液及其制备方法在审
| 申请号： | 201811603208.7 | 申请日： | 2018-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN109407478A | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 李晨阳 | 申请（专利权）人： | 李晨阳 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人： | 杜丹盛 |
| 地址： | 214000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了POLY‑270剥离清洗液及其制备方法，POLY‑270剥离清洗液，该POLY‑270剥离清洗液的原料包括碱性试剂、有机溶剂、儿茶酚、羟胺和水。POLY‑270剥离清洗液，剥离清洗液又称striper，用于IC和分立器件中Polymer，光阻的去处，由有机碱还原剂和有机溶剂组成，使用本发明技术制备的POLY‑270剥离清洗液本发明去除了传统IC制造中传统剥离液表面张力大，使用麻烦，难以清洁，功能单一的缺陷的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗液 剥离 制备 有机溶剂组成 分立器件 功能单一 碱性试剂 有机溶剂 剥离液 儿茶酚 还原剂 有机碱 光阻 羟胺 清洁 | ||
【主权项】：
1.POLY‑270剥离清洗液的制备方法，其特征在于，所述POLY‑270剥离清洗液的原料包括碱性试剂、有机溶剂、儿茶酚、羟胺和水，所述方法步骤如下：将碱性试剂抽入反应釜中，再将有机溶剂抽入反应釜中，加入儿茶酚，搅拌均匀，加入羟胺，搅拌均匀，加入水稀释，过滤出料即可。
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