[发明专利]玻璃基板支撑平台和玻璃基板宏观检查装置在审
| 申请号： | 201811603603.5 | 申请日： | 2018-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN109870556A | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 刘磊;何森林;邓永松;潘良元;于翔;权永春;宋海涛 | 申请（专利权）人： | 江苏东旭亿泰智能装备有限公司;东旭光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/38 | 分类号： | G01N33/38 |
| 代理公司： | 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447 | 代理人： | 吴国栋;陈庆超 |
| 地址： | 223800 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本公开涉及一种玻璃基板支撑平台和玻璃基板宏观检查装置，其中，玻璃基板支撑平台包括：框架、并排设置在所述框架上的多根横梁、以及连接在所述横梁上的多个吸盘，所述横梁具有与所述吸盘连通的空腔，所述横梁选择性地连接有正压源或负压源。通过上述技术方案，与吸盘连通的横梁可以选择性地连接正压源和负压源。当连接正压源时，吸盘可以向外吹气，支撑平台可以作为气浮平台使用，可以避免玻璃基板的表面被划伤；当连接负压源时，吸盘可以向内吸气，以吸附玻璃基板，可以使玻璃基板稳定地置于平台上。即，本公开提供的玻璃基板支撑平台可以在两种模式之间切换，满足不同的应用场合。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃基板 吸盘 支撑平台 横梁 负压源 正压源 宏观检查装置 选择性地连接 连通 吸附玻璃基板 吸气 并排设置 气浮平台 吹气 划伤 空腔 向内 | ||
【主权项】：
1.一种玻璃基板支撑平台，其特征在于，包括：框架(1)、并排设置在所述框架(1)上的多根横梁(2)、以及连接在所述横梁(2)上的多个吸盘(3)，所述横梁(2)具有与所述吸盘(3)连通的空腔，所述横梁(2)选择性地连接有正压源或负压源。
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