[发明专利]一种电容式弯曲量检测装置、检测方法及镀膜系统在审
申请号: | 201811604691.0 | 申请日: | 2018-12-26 |
公开(公告)号: | CN109596042A | 公开(公告)日: | 2019-04-09 |
发明(设计)人: | 徐义;岳志远 | 申请(专利权)人: | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
主分类号: | G01B7/28 | 分类号: | G01B7/28;C23C14/54 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 朱静谦 |
地址: | 100176 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及设备检测技术领域,具体涉及一种电容式弯曲量检测装置、检测方法及镀膜系统。其中电容式弯曲量检测装置,包括,金属载具,用于承载被传送物体;传输装置,其在传输方向运送所述金属载具;至少一对电容极板,其设置在传输装置的传输路径上;任意一对所述电容极板间形成传输通道;所述金属载具可在上述传输通道中穿过;电容信号控制器,其分别与所述金属载具、所述电容极板连接,对所述金属载具、所述电容极板充电,并检测所述金属载具穿过电容极板间时所述金属载具分别与两电容极板间电容值的差值△C,然后根据差值△C判断和输出金属载具的弯曲量。 | ||
搜索关键词: | 载具 电容极板 金属 弯曲量 检测装置 电容式 传输通道 传输装置 镀膜系统 检测 检测技术领域 穿过 传输方向 传输路径 电容信号 涉及设备 控制器 电容 间时 充电 传送 承载 运送 输出 | ||
【主权项】:
1.一种电容式弯曲量检测装置,其特征在于,包括:金属载具(3),用于承载被传送物体;传输装置(2),其在传输方向运送所述金属载具(3);至少一对电容极板(51),其设置在传输装置(2)的传输路径上;任意一对所述电容极板(51)间形成传输通道;所述金属载具(3)可在上述传输通道中穿过;电容信号控制器(52),其分别与所述金属载具(3)、所述电容极板(51)连接,对所述金属载具(3)、所述电容极板(51)充电,并检测所述金属载具(3)穿过电容极板(51)间时所述金属载具(3)分别与两电容极板间电容值的差值△C,然后根据差值△C判断和输出金属载具(3)的弯曲量。
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