[发明专利]多晶硅取棒装置及方法有效
| 申请号： | 201811605733.2 | 申请日： | 2018-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN109399642B | 公开（公告）日： | 2019-10-29 |
| 发明（设计）人： | 蔡延国;杨明财;王生红 | 申请（专利权）人： | 亚洲硅业（青海）有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 赵志远 |
| 地址： | 810000 青海省西*** | 国省代码： | 青海;63 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种多晶硅取棒装置及方法，属于多晶硅准运领域。多晶硅取棒装置包括：洁净罩，洁净罩内具有密闭的容纳腔；取料机构，取料机构设置于容纳腔的内部；取料机构包括轨道、第一运载件以及机械臂，轨道设置为环形，第一运载件和轨道滑动连接，机械臂和第一运载件连接，第一运载件用于带动机械臂沿着轨道运动；转运机构，转运机构设置于容纳腔的内部；控制器，控制器分别和第一运载件、机械臂以及第二运载件电连接，控制器用于分别控制第一运载件、机械臂以及第二运载件。这种多晶硅取棒装置及方法可以在密闭的空间中进行，可以有效防止外界的物质对多晶硅棒造成污染，并且利用机械臂在轨道上进行转运，可以具有较高的工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 运载件 机械臂 多晶硅 取棒装置 取料机构 控制器 容纳腔 转运机构 密闭 轨道 有效防止外界 洁净 多晶硅棒 工作效率 轨道设置 轨道运动 滑动连接 电连接 转运 污染 | ||
【主权项】：
1.一种多晶硅取棒装置，其特征在于，包括：洁净罩，所述洁净罩内具有密闭的容纳腔；取料机构，所述取料机构设置于所述容纳腔的内部；所述取料机构包括轨道、第一运载件以及机械臂，所述轨道设置为环形，所述第一运载件和所述轨道滑动连接，所述机械臂和所述第一运载件连接，所述第一运载件用于带动所述机械臂沿着所述轨道运动；所述第一运载件设置为多个，多个所述第一运载件在所述轨道上间隔分布，所述机械臂设置为多个，所述机械臂和所述第一运载件一一对应；转运机构，所述转运机构设置于所述容纳腔的内部；所述转运机构包括相互连接的第二运载件和用于盛放多晶硅棒的容纳件，所述第二运载件用于带动所述容纳件运动；控制器，所述控制器分别和所述第一运载件、所述机械臂以及所述第二运载件电连接，所述控制器用于分别控制所述第一运载件、所述机械臂以及所述第二运载件。
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