[发明专利]离子源在审
| 申请号： | 201811608893.2 | 申请日： | 2018-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN110504148A | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 山元徹朗 | 申请（专利权）人： | 日新离子机器株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/317 |
| 代理公司： | 11290 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 崔迎宾;李雪春<国际申请>=<国际公布> |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种离子源。利用形成有离子束引出用的长孔的碳构件，抑制剥离后的堆积物横跨长孔而致使引出的离子束的束电流量减少。离子源(IS)具有形成有离子束引出用的长孔(H)的碳构件(C)，在长孔(H)的长边形成有切口(E)。 | ||
| 搜索关键词： | 长孔 离子束 离子源 碳构件 电流量 堆积物 长边 横跨 剥离 | ||
【主权项】：
1.一种离子源，具有形成有离子束引出用的长孔的碳构件，其特征在于，/n在所述长孔的长边形成有切口。/n
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