[发明专利]电子气三氯化硼中微量杂质四氯化硅的检测系统及方法有效
| 申请号： | 201811609932.0 | 申请日： | 2018-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN109765310B | 公开（公告）日： | 2022-05-31 |
| 发明（设计）人： | 李聪;李艾瑾 | 申请（专利权）人： | 杭州克柔姆色谱科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N30/02 | 分类号： | G01N30/02;G01N30/20;G01N30/60;G01N30/64 |
| 代理公司： | 浙江杭知桥律师事务所 33256 | 代理人： | 王梨华;金娟娟 |
| 地址： | 310000 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： |
本发明涉及气相色谱检测技术领域，公开了一种电子气三氯化硼中微量杂质四氯化硅的检测系统，包括切换阀V1、切换阀V2、定量管、第一载气气路、第二载气气路、管道、第一毛细管柱、第二毛细管柱、第一放空针阀、第二放空针阀和氦离子化检测器；定量管两端分别与切换阀V1连通，第一载气气路和第二载气气路分别与切换阀V1连通；切换阀V1与切换阀V2连通，管道、第二放空针阀和氦离子化检测器分别与切换阀V2连通；还公开了电子气三氯化硼中微量杂质四氯化硅的检测方法。本发明的检测系统可以很好地对微量与低浓度组份进行检测，检测限可达0.1ppm以下，本发明的检测方法可以对SiCl |
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| 搜索关键词： | 电子 氯化 微量 杂质 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.电子气三氯化硼中微量杂质四氯化硅的检测系统，其特征在于：包括切换阀V1(1)、切换阀V2(2)、定量管(3)、第一载气气路(4)、第二载气气路(5)、管道、第一毛细管柱(8)、第二毛细管柱(9)、第一放空针阀(13)、第二放空针阀(10)和氦离子化检测器(11)；定量管(3)两端分别与切换阀V1(1)连通，第一载气气路(4)和第二载气气路(5)分别与切换阀V1(1)连通，第一放空针阀(13)与切换阀V1(1)连通；切换阀V1(1)与切换阀V2(2)连通，管道、第二放空针阀(10)和氦离子化检测器(11)分别与切换阀V2(2)连通；第一毛细管柱(8)和第二毛细管柱(9)之间还连接有连接器(7)。
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