[发明专利]切割线的喷淋结构、工件切割系统及喷淋方法在审

专利信息
申请号: 201811612205.X 申请日: 2018-12-27
公开(公告)号: CN109571783A 公开(公告)日: 2019-04-05
发明(设计)人: 姜镕 申请(专利权)人: 西安奕斯伟硅片技术有限公司
主分类号: B28D5/00 分类号: B28D5/00;B28D5/04
代理公司: 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人: 贾玉;李东玲
地址: 710065 陕西省西安市*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明提供一种切割线的喷淋结构、工件切割系统及喷淋方法,其中,切割线的喷淋结构应用于工件切割系统,所述工件切割系统包括:切割结构,包括两个线辊和缠绕在所述线辊上的切割线,所述线辊包括线槽,所述切割线缠绕在所述线槽内;工件供给结构,用于承载工件并控制所述工件向靠近所述切割线的方向进给;所述喷淋结构包括:第一喷嘴结构,所述第一喷嘴结构包括第一喷嘴,用于向所述线辊的线槽及所述切割线喷淋研磨液,以清洗所述线槽和所述切割线;第二喷嘴结构,所述第二喷嘴结构包括第二喷嘴,用于向邻近工件的所述切割线喷淋研磨液。根据本发明实施例的切割线的喷淋结构强化了清洗能力,提高了切割效率。
搜索关键词: 切割线 喷淋结构 工件切割 喷嘴结构 喷淋 线槽 线辊 喷嘴 研磨液 缠绕 承载工件 供给结构 切割结构 切割效率 清洗能力 进给 清洗 邻近 应用
【主权项】:
1.一种切割线的喷淋结构,其特征在于,应用于工件切割系统,所述工件切割系统包括:切割结构,包括两个线辊和缠绕在所述线辊上的切割线,所述线辊包括线槽,所述切割线缠绕在所述线槽内;工件供给结构,用于承载工件并控制所述工件向靠近所述切割线的方向进给;所述喷淋结构包括:第一喷嘴结构,所述第一喷嘴结构包括第一喷嘴,用于向所述线辊的线槽及所述切割线喷淋研磨液,以清洗所述线槽和所述切割线;第二喷嘴结构,所述第二喷嘴结构包括第二喷嘴,用于向邻近工件的所述切割线喷淋研磨液。
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