[发明专利]一种蒸镀用金属掩模板的制作方法在审
| 申请号： | 201811613054.X | 申请日： | 2018-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN109628879A | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 魏志凌;黄朝;张后成 | 申请（专利权）人： | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C25D1/10;C25D3/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种新的蒸镀用金属掩模板制作工艺,即一种金属掩模板电铸加厚时分散电流的方法，该方法通过在掩模板开口图案区和焊接固定区中间的掩模上制作辅助镀层，来分散电铸过程中遮蔽区边缘过渡集中的电流，从而可以避免掩模板加厚时在掩模区形成电铸积瘤，最终得到表面平整光洁的掩模板，便于焊接且增加掩模板的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 掩模板 金属掩模板 蒸镀 加厚 表面平整 电铸过程 电铸加厚 分散电流 焊接固定 开口图案 使用寿命 制作工艺 掩模区 遮蔽区 光洁 电铸 镀层 积瘤 掩模 制作 焊接 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀用金属掩模板的制作方法，其制作方法包括以下步骤：S1、基材准备：包括挑选基板、贴膜、曝光、显影；S2、电铸金属掩模层：在基板上第一次电铸出具有蒸镀开口的金属掩模层：S3、制作辅助层：在第一次电铸出的金属掩模层上贴敷一层干膜作为辅助层，并且在辅助层上曝光出绝缘区和过渡区，完全未曝光的辅助层为显影区，所述过渡区位于绝缘区和显影区中间；S4、第二次电铸：将辅助层上未被曝光的干膜部分显影去除，并在显影后的金属掩模层上电铸出第二金属层；S5、褪膜分层；除去金属掩模层上的干膜，将第二金属层的一部分从金属掩模层上剥离，将金属掩模层与基板分离；其特征在于，所述绝缘区全部被曝光，所述过渡区则是曝光出条状图形，所述条状图形为等尺寸，从绝缘区外侧向所述显影区方向开始依次排列，且间隔的距离递增。
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