[发明专利]固定底座及包括其的溅射靶材车床在审
| 申请号： | 201811618412.6 | 申请日： | 2018-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN111376060A | 公开（公告）日： | 2020-07-07 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;王利江 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23Q1/01 | 分类号： | B23Q1/01;B23Q11/10 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种固定底座，包括：底座本体；以及固定部，其从所述底座本体的前侧平行于所述底座本体的顶侧向外延伸；其中，所述底座本体包括位于所述底座本体的顶侧的第一进入孔、位于所述底座本体的前侧的第一排出孔以及连通所述第一进入孔和所述第一排出孔的第一通道；其中，所述底座本体包括位于所述底座本体的顶侧的第二进入孔、位于所述底座本体的前侧的第二排出孔以及连通所述第二进入孔和所述第二排出孔的第二通道。本发明还提供一种包括所述固定底座的溅射靶材车床。 | ||
| 搜索关键词： | 固定 底座 包括 溅射 车床 | ||
【主权项】：
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