[发明专利]靶材的处理方法在审
| 申请号： | 201811621515.8 | 申请日： | 2018-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN111378977A | 公开（公告）日： | 2020-07-07 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;罗明浩;寿奉粮 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23G1/12 | 分类号： | C23G1/12;C23G1/22 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种靶材的处理方法，包括：提供靶材以及清洗液，所述清洗液为化学溶剂；将所述靶材放入所述清洗液浸泡处理。使用化学方法处理所述靶材，使所述靶材与所述清洗液发生化学反应，从而所述靶材表面的残留物会被溶解在所述清洗液中，从而达到去除所述靶材表面残留的目的，所述处理过程简单方便，减小能耗。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 方法 | ||
【主权项】：
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