[发明专利]缺陷检测装置、键合设备以及键合方法有效
| 申请号： | 201811629353.2 | 申请日： | 2018-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN111380874B | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 孙昊;于大维;陈飞彪 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种缺陷检测装置、键合设备以及键合方法。缺陷检测装置用于对键合前的键合载体进行缺陷检测，包括：光源、第一反射镜、远心场镜以及第一探测相机；光源用于提供检测光线，第一反射镜上设置有至少一个通孔，检测光线经第一反射镜上的通孔垂直入射至远心场镜，并经由远心场镜入射至键合载体。当键合载体上存在缺陷时，检测光线经键合载体反射至远心场镜后，至少一部分检测光线被第一反射镜反射后被第一探测相机接收并成像，以此即可判断出键合载体上存在缺陷，从而提高键合后产品的良率，且有利于提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 检测 装置 设备 以及 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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