[发明专利]线源装置和OLED蒸镀机在审
| 申请号： | 201811634379.6 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN109487216A | 公开（公告）日： | 2019-03-19 |
| 发明（设计）人： | 魏锋 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供一种线源装置和OLED蒸镀机，其包括线源机构和至少两个坩埚机构，线源机构包括一线源腔体；每个坩埚机构均设置在线源机构的外侧，每个坩埚机构均包括一坩埚腔体和连接阀；连接阀设置在坩埚腔体和线源腔体之间，且用于将坩埚腔体和线源腔体隔开或连通。本申请通过至少两个坩埚机构的设置，提高了设备的使用效率，减少了设备加料时间。 | ||
| 搜索关键词： | 线源 坩埚 坩埚腔 线源装置 连接阀 蒸镀机 腔体 使用效率 加料 隔开 源腔 连通 申请 | ||
【主权项】：
1.一种线源装置，其特征在于，包括：一线源机构，用于将气态有机材料喷镀到TFT基板上，所述线源机构包括一线源腔体；以及至少两个坩埚机构，用于提供气态有机材料，每个所述坩埚机构均设置在所述线源机构的外侧，每个所述坩埚机构均包括一坩埚腔体和连接阀；所述连接阀设置在所述坩埚腔体和所述线源腔体之间，且用于将所述坩埚腔体和所述线源腔体隔开或连通。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市华星光电半导体显示技术有限公司，未经深圳市华星光电半导体显示技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811634379.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种高精度金属掩膜板及其制造方法
- 下一篇：一种可以有效降温的分子蒸发装置
- 同类专利
- 专利分类
